Auto SAM Wafer 304 的全自動聲學顯微鏡能夠快速檢測晶圓上的空腔、氣泡、夾雜物和分層缺陷，是晶圓檢測、鍵結檢測和 MEMS 檢測的理想選擇。配套的自動缺陷檢測軟體可對整個晶圓進行全自動評估。
