กล้องจุลทรรศน์อะคูสติกแบบสแกนระดับเวเฟอร์

กล้องจุลทรรศน์อะคูสติกอัตโนมัติเต็มรูปแบบจาก Auto SAM Wafer 304 ช่วยให้ตรวจจับโพรง ช่องว่าง ฟองอากาศ สิ่งเจือปน และการแยกชั้นได้อย่างรวดเร็ว เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการตรวจสอบเวเฟอร์ การตรวจสอบการเชื่อมต่อ และการตรวจสอบ MEMS ชุดซอฟต์แวร์ตรวจสอบข้อบกพร่องอัตโนมัติจะทำการประเมินเวเฟอร์ทั้งหมดโดยอัตโนมัติอย่างสมบูรณ์