Produkter
Auto SAM Wafer 304-Wafer-inspeksjon
INTRODUKSJON
Auto SAM Wafer 304 er en produktlinje spesielt utviklet for inline produksjonskontroll. Den er i samsvar med renromsklasse 10 og ble designet for inspeksjon av wafere eller bundne wafere (MEMS) for å oppdage hulrom, inneslutninger eller delaminering i bundne lag.
Auto SAM Wafer 304 er et helautomatisert system med robotisert waferhåndtering, inspeksjon og vurderingsfunksjoner. Det har dokumentert kontinuerlig drift på tvers av en rekke masseproduksjonslinjer.
FUNKSJONER
01
7. januar 2019
Automatisk ultralydskanning
Møter klasse 1-10
Multi-probe ultralydskanning
Høy oppløsning og følsomhet
Tilpasse seg standard kommunikasjonsprogramvare
SØKNAD
Auto SAM Wafer 304 ble utviklet for inspeksjon av wafere eller bundne wafere (MEMS) for å oppdage hulrom, inneslutninger eller delaminering i bundne lag.
PARAMETERE
| Søknad | 4”, 6”, 8”, 12” wafere eller bundne wafere (MEMS) |
| Dimensjon | 2400 x 2000 x 1300 m² |
| Transdusere | Fire transdusere, tilpassbare |
| Oppløsning | 1～4000 μm |
| Båndbredde | 1–500 MHz |
| Skanneinnstillinger | Skanning med høy presisjon, rask skanning |
| Plattform | Marmorplattform |
| X/Y-aksen | Lineærmotor, dobbeltdrift for portalmotor |
| Maksimal skannehastighet | 2000 mm/s |
| Maksimal akselerasjon | 2G/s |
| Hyppighet | 1~300 MHz |
| Armatur | Dedikert til wafer, tilpassbar |
| Automatisk lasting og lossing | Tilpassbar |