Ịkpọghe Semiconductor Ogo: Nnyocha Wafer dị elu site na iji Ultrasonic Scanning Microscopy (SAT/SAM)

Iji hụ na enwere ike ịtụkwasị obi n'okpuru ala maka ngwaọrụ 2.5D/3D nke ọgbọ na-abịa na nhazi ngwugwu ọkwa Wafer.

SBTTeknụzụ Ultrasonic Co., Ltd. (SBT) na-enye ngwọta kachasị elu n'ụlọ ọrụ iji gboo mkpa na-adịghị agwụ agwụ maka iguzosi ike n'ezi ihe na ngwa eletrọnịkị ọgbara ọhụrụ.

N'ime ala semiconductor asọmpi dị elu, ebe obere usoro na usoro ngwugwu dị elu dị ka njikọta 2.5D/3D na ngwugwu Wafer-Level (WLP) bụ ọkọlọtọ, na-eme ka ihe zuru oke na iguzosi ike n'ezi ihe nke ihe anaghị agbanwe agbanwe. Nnyocha Wafer bụ oge dị oke mkpa maka ọrụ.

Maka ụlọ ọrụ semiconductor kachasị elu na ụlọ nkwakọ ngwaahịa, Wafer Ultrasonic Scanning Microscopy, nke a na-akpọkarị Scanning Acoustic Tomography (SAT) ma ọ bụ Scanning Acoustic Microscopy (Naanị ya), bụ ihe ngwọta ọkọlọtọ ụlọ ọrụ maka njikwa mma na nyocha ntụkwasị obi na-anaghị emebi emebi n'oge usoro mmepụta niile.

Ihe Nnyocha Maka Nkwakọba Dị Elu

Ọrụ dị mkpa nke SAT na Nnyocha Wafer maka Nkwakọ ngwaahịa dị elu

Isi ihe mere SAT (Scanning Acoustic Tomography) ji arụ ọrụ na semiconductor bụ inye onyonyo dị n'ime nke wafers, dies, na ihe owuwu njikọ dị mgbagwoju anya na-anaghị emebi emebi, nke nwere mkpebi dị elu.

Site n'iji ụda olu dị elu eme ihe, sistemụ SAT na-abanye n'ime ihe ndị na-adịghị agbanwe agbanwe - ikike dị mkpa maka ịkwado usoro na Advanced Packaging ebe ọtụtụ oyi akwa jikọtara ọnụ nke ọma, ọkachasị na nhazi 2.5D/3D.

1. Nchọpụta Mmerụ Ahụ Dị Mkpa Maka Ịdị Mma Ka Mma

SAT enweghị atụ n'ike ya ịchọpụta ntụpọ dị mkpa dị n'okpuru ala nke na-emebi ntụkwasị obi nke ngwaọrụ. Nrụpụta isi ihe nke teknụzụ Nnyocha Wafer a chọpụtara gụnyere:

• Mwepụ na Ịkwụsị: Ịchọpụta nkewa na njikọ dị mkpa, karịsịa dị oke mkpa na usoro Nkwakọ ngwaahịa dị elu dịka njikọ ngwakọ, nhazi ọkwa wafer, na njikọ di-to-wafer (isi ihe dị mkpa maka njikọta 2.5D/3D).

• Oghere dị n'ime na oghere ikuku: Ịchọta afụ n'ime ihe ndị na-ejupụta n'okpuru mmiri, ihe na-etinye ihe na-eme ka ihe na-egbuke egbuke, ma ọ bụ ihe ndị na-akpụ akpụ nke na-emebi arụmọrụ okpomọkụ na Ogo igwe.

• Mkpọchi Micro: Ịchọpụta ntụpọ nhazi na silicon ma ọ bụ oyi akwa ngwugwu a na-ahụghị anya site na nyocha elu ọkọlọtọ.

2. Nlekota na Mmezi Mmepụta Usorona WLP

Wafer Ultrasonic Scanning Microscopy na-enye data dị mkpa maka imeziwanye usoro nrụpụta dị mkpa, na-eme ka mmepụta na ịdị mma nke ngwugwu Wafer-Level dịkwuo mma ozugbo:

• Njikọta Nhazi: SAT na-akwado mkpuchi na iguzosi ike n'ezi ihe nke njikọ inter-wafer, na-ahụ na enwere ike ịtụkwasị obi nke ọma na sekit 3D integrated (ICs).

• Iguzosi Ike n'Elu/Ịkpụzi Ihe: Ịchọpụta usoro zuru oke na njikọta nke ihe mkpuchi, otu n'ime ihe dị mkpa na Nkwakọ ngwaahịa dị elu.

• Ọdịdị nkwonkwo nke solder: Ịchọpụta iguzosi ike n'ezi ihe na ọdịnaya efu dị n'ime BGA na njikọ flip-chip n'ofe wafer niile. 

SBTWafer400 Uru dị na Nkwakọ ngwaahịa dị elu

Usoro SAT Wafer400 nke SBT Wafer

Ịnabata usoro SAT na SAM dị elu nke Wafer Level na-arụ ọrụ nke ọma n'ime usoro Nnyocha Wafer gị dị oke mkpa maka ndụ na uto n'ahịa Nkwakọ ngwaahịa dị elu nke asọmpi. E mere usoro Wafer400 nke SBT kpọmkwem iji mezuo ihe siri ike nke njikọta 2.5D/3D na WLP dị elu.

Na-ewebata usoro SBT Wafer400

SBT na-enye usoro abụọ dị iche iche nke sistemụ Wafer400 ya, nke nwere ike ịkwado wafers 100mm ruo 300mm (gụnyere nyocha njikọ wafer):

1.Isi ihe dị mkpa nke Wafer400-A akpaghị aka zuru oke

Wafer400-A bụ ngwọta zuru oke maka nrụpụta dị elu nke chọrọ njikọta na njikwa mma dị elu:

• Njikọta: Ibu ibu dakọtara na njikọ Cassette ọkọlọtọ.

• Njikwa Rọbọt: Rọbọt wafer raara onwe ya nye na-ejikwa nlele, ịgụ koodu barcode, na itinye wafer n'ọnọdụ nchekwa.

• Nnyocha Ọsọ Dị Elu: Nnyocha nyocha nke nwere nyocha anọ maka nchọpụta ultrasonic wafer ngwa ngwa, na-enweta ọsọ kachasị elu nke 2000 mm/s.

• Nhazi nke ọma: Nhazi maka nhazi wafer ziri ezi na ịchọta nsọtụ.

• Njikere Fab: Emebere ya iji mezuo ihe achọrọ maka ịdị ọcha Fab siri ike.

• Iguzosi Ike n'Ezi Ihe Data: A na-ejikọta nsonaazụ nyocha na akpaghị aka, hazie (ngosipụta onyonyo/nrụgide), ma dekọọ ya, wee weghachite wafers na oghere mbụ ha (usoro akọrọ/nkụcha).

• Njikọta: Ejiri ngwanrọ nkwukọrịta ụlọ ọrụ ọkọlọtọ maka nhazi na akụrụngwa mmepụta ndị ọzọ.

Usoro nyocha nke Wafer400-A

2.Isi ihe dị mkpa nke Semi-Automatic Wafer400-B

Wafer400-B na-enye nyocha dị oke mma yana ịdị ọcha ka mma maka usoro ndị siri ike:

• Ịdị ọcha: E ji ihe e ji kpuchie gburugburu ebe obibi (FFU) mee ihe iji hụ na ọ dịghị ihe na-emerụ ígwè n'ime sistemụ ahụ. O mezuru ihe achọrọ maka ịdị ọcha nke Klas nke Abụọ (Klas nke 100) n'oge usoro nyocha.

• Arụmọrụ: Na-akwado nyocha n'otu oge yana ihe nyocha ruru anọ iji jikọta ma melite arụmọrụ nyocha.

• Oke nyocha:Mpaghara nyocha dị irè n'ozuzu ya: 420mm x 320mm.

• Nhazi: Nhọrọ nhazi maka ndị na-ebu wafer raara onwe ha nye dabere na nha wafer.

• Usoro nyocha:Na-eji usoro nyocha mmiri mmiri.

Nkwa Ntụkwasị Obi nke SBT

Site na iji ngwaọrụ ndị a kpọmkwem, ndị na-anaghị emebi emebi, ndị nrụpụta na-enweta uru asọmpi site na:

• Mmepụta na ROI Kachasị Elu: Nchọpụta mbụ nke ntụpọ usoro na-ebelata oke mkpofu na mkpa maka ịrụgharị ihe dị oke ọnụ, na-eme ka mma mmepụta zuru oke na Nkwakọ ngwaahịa 2.5D/3D dị elu.

• Nkwanye ntụkwasị obi nke ngwaahịa ikpeazụ: Ịchọpụta ịdị mma nke njikọ na njikọ dị mkpa ọ bụla na-eme ka arụmọrụ ngwaọrụ dị ogologo oge ma belata ọdịda ubi.

• Ụzọ Njikere Teknụzụ Na-eme Ka Ọ Dị Ngwa: Inweta nzaghachi ngwa ngwa na nke ziri ezi gbasara ihe ọhụrụ na usoro Nkwakọ ngwaahịa dị elu na-eme ka oge dị mkpụmkpụ maka ngwaahịa ọhụrụ dị iche iche.

Usoro onyonyo nyocha nke SBT Wafer400

SBT na-enye ụlọ ọrụ ahụ ngwọta nyocha Wafer akpaka nke na-enye nghọta na mmepụta na-enweghị atụ, na-eme ka ịdị mma na ntụkwasị obi nke ngwaọrụ semiconductor ọ bụla emepụtara sie ike. Soro anyị kpaa aka iji hụ na usoro Nkwakọ ngwaahịa gị dị elu na-emezu ụkpụrụ echi taa.