वेफर-स्तरीय स्कैनिंग ध्वनिक माइक्रोस्कोप
ऑटो एसएएम वेफर 304-वेफर निरीक्षण
परिचय
ऑटो एसएएम वेफर 304 उत्पाद श्रृंखला विशेष रूप से इनलाइन उत्पादन नियंत्रण के लिए विकसित की गई है। यह क्लीनरूम कक्षा 10 के अनुरूप है और बंधी हुई परतों में गुहाओं, समावेशन या प्रदूषण का पता लगाने के लिए वेफर्स या बॉन्डेड वेफर्स (एमईएमएस) के निरीक्षण के लिए डिज़ाइन किया गया था।
ऑटो एसएएम वेफर 304 एक पूरी तरह से स्वचालित प्रणाली है जिसमें रोबोटिक वेफर हैंडलिंग, निरीक्षण और निर्णय क्षमताएं शामिल हैं। कई बड़े पैमाने पर उत्पादन लाइनों में निरंतर संचालन में इसका एक सिद्ध ट्रैक रिकॉर्ड है।
विशेषताएँ
01
7 जनवरी 2019
स्वचालित अल्ट्रासोनिक स्कैनिंग
कक्षा 1-10 से मिलता है
मल्टी-प्रोब अल्ट्रासाउंड स्कैनिंग
उच्च रिज़ॉल्यूशन और संवेदनशीलता
मानक संचार सॉफ़्टवेयर को अपनाएँ
आवेदन
ऑटो एसएएम वेफर 304 को बंधी परतों में गुहाओं, समावेशन या प्रदूषण का पता लगाने के लिए वेफर्स या बॉन्डेड वेफर्स (एमईएमएस) के निरीक्षण के लिए डिज़ाइन किया गया था।
पैरामीटर
| आवेदन | 4'', 6'', 8'', 12'' वेफर्स या बॉन्डेड वेफर्स (एमईएमएस) |
| आयाम | 2400x2000x1300㎜ |
| ट्रांसड्यूसर | चार ट्रांसड्यूसर, अनुकूलन योग्य |
| संकल्प | 1~4000 μm |
| बैंडविड्थ | 1-500 मेगाहर्ट्ज |
| स्कैनिंग सेटिंग्स | उच्च परिशुद्धता स्कैनिंग, तेज़ स्कैनिंग |
| प्लैटफ़ॉर्म | संगमरमर का मंच |
| एक्स/वाई अक्ष | लीनियर मोटर, गैन्ट्री डबल ड्राइव |
| अधिकतम स्कैनिंग गति | 2000मिमी/सेकंड |
| अधिकतम त्वरण | 2जी/एस |
| आवृत्ति | 1~300MHz |
| स्थिरता | वेफर के लिए समर्पित, अनुकूलन योग्य |
| ऑटो लोडिंग और अनलोडिंग | अनुकूलन |