Produkten
Auto SAM Wafer 304-Wafer Ynspeksje
YNLIEDING
De Auto SAM Wafer 304 is in produktline dy't spesjaal ûntwikkele is foar inline produksjekontrôle. It foldocht oan cleanroom klasse 10 en is ûntworpen foar de ynspeksje fan wafers of bonded wafers (MEMS) om holtes, ynklúzjes of delaminaasje yn bonded lagen te detektearjen.
De Auto SAM Wafer 304 is in folslein automatisearre systeem mei robotyske waferbehanneling, ynspeksje en beoardielingsmooglikheden. It hat in bewezen track record yn trochgeande operaasjes oer ferskate massaproduksjelinen.
FUNKSJES
01
7 jannewaris 2019
Automatysk ultrasone scannen
Foldocht oan klasse 1-10
Multi-sonde echografie scanning
Hege resolúsje en gefoelichheid
Oanpasse oan standert kommunikaasjesoftware
OANFRAACH
De Auto SAM Wafer 304 is ûntworpen foar de ynspeksje fan wafers of bonded wafers (MEMS) om holtes, ynklúzjes of delaminaasje yn bonded lagen te detektearjen.
PARAMETERS
| Oanfraach | 4”, 6”, 8”, 12” wafers of bonded wafers (MEMS) |
| Diminsje | 2400x2000x1300㎜ |
| Transducers | Fjouwer transducers, oanpasber |
| Resolúsje | 1 ~ 4000 μm |
| Bânbreedte | 1-500 MHz |
| Skenynstellingen | Hege presyzje scannen, rap scannen |
| Perron | Marmeren platfoarm |
| X/Y-as | Lineêre motor, dûbele portaaloandriuwing |
| Maksimale scansnelheid | 2000mm/s |
| Maksimale fersnelling | 2G/s |
| Frekwinsje | 1~300MHz |
| Befestiging | Spesjaal foar wafer, oanpasber |
| Automatysk laden en lossen | Oanpasber |