Microscope acoustique à balayage au niveau de la plaquette
Inspection automatique des plaquettes 304 SAM
INTRODUCTION
L'Auto SAM Wafer 304 est une gamme de produits spécialement développée pour le contrôle de production en ligne. Il est conforme à la classe de salle blanche 10 et a été conçu pour l'inspection des plaquettes ou des plaquettes liées (MEMS) afin de détecter les cavités, les inclusions ou le délaminage dans les couches liées.
L'Auto SAM Wafer 304 est un système entièrement automatisé doté de capacités robotiques de manipulation, d'inspection et de jugement des plaquettes. Elle a fait ses preuves dans les opérations continues sur de nombreuses lignes de production de masse.
CARACTÉRISTIQUES
01
7 janvier 2019
Balayage automatique par ultrasons
Répond aux classes 1-10
Echographie multi-sondes
Haute résolution et sensibilité
S'adapter aux logiciels de communication standards
APPLICATION
L'Auto SAM Wafer 304 a été conçu pour l'inspection des plaquettes ou des plaquettes liées (MEMS) afin de détecter les cavités, les inclusions ou le délaminage dans les couches liées.
PARAMÈTRES
| Application | Plaquettes 4", 6", 8", 12" ou plaquettes collées (MEMS) |
| Dimension | 2400x2000x1300㎜ |
| Transducteurs | Quatre transducteurs, personnalisables |
| Résolution | 1~4000 μm |
| Bande passante | 1-500 MHz |
| Paramètres de numérisation | Numérisation de haute précision, numérisation rapide |
| Plate-forme | Plateforme en marbre |
| Axe X/Y | Moteur linéaire, portique double entraînement |
| Vitesse de numérisation maximale | 2000 mm/s |
| Accélération maximale | 2 G/s |
| Fréquence | 1 ~ 300 MHz |
| Fixation | Dédié au wafer, personnalisable |
| Chargement et déchargement automatiques | Personnalisable |