Ultraschall-Trockenreinigung

Ultraschall-Trockenreinigung

Der SBT Ultraschall-Trockenstaubreiniger wurde für die Präzisionsreinigung entwickelt und entfernt effizient Oberflächenstaub und Partikel von Lithiumbatterien, Halbleitern, Leiterplatten/FPCs, Glassubstraten und Dünnschichten. Er gewährleistet optimale Oberflächenreinheit und unterstützt so höchste Qualität in nachgelagerten Fertigungsprozessen wie Verkapselung, Drahtbonden, Beschichten und Laminieren/Kleben.

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EINFÜHRUNG

Der SBT Ultraschall-Trockenstaubreiniger eignet sich zur Staubentfernung bei Batteriebeschichtungen, Halbleiterbauelementen und Glassubstraten.

MERKMALE

Trockene und berührungslose Reinigung: Nutzt eine trockene, berührungslose Reinigungsmethode, um Oberflächenverunreinigungen oder Materialbeschädigungen wirksam zu verhindern.

Geringer Wartungsaufwand: Der Ultraschallreinigungskopf ist wartungsfrei; der Wartungsaufwand beschränkt sich auf die routinemäßige Wartung des Lüfters und den Filterwechsel.

Hocheffiziente Partikelentfernung: Übertrifft die herkömmliche berührungslose Staubentfernung mit Luftmessern durch die effektive Erfassung von Staubpartikeln mit einer Größe von weniger als 6 µm.

Reinraumsicher: Ausgestattet mit einem wissenschaftlich entwickelten geschlossenen Kreislaufsystem, um eine Kontamination der Reinraumumgebung auszuschließen.

ANWENDUNG

Geeignet zur Staubentfernung bei Batteriebeschichtungen, Halbleiterbauelementen und Glassubstraten.

PARAMETER

Betriebsumgebung	Geeignet für trockene, staubfreie Reinräume der Klasse 10.000 und darunter
Arbeitsabstand	Innerhalb von 5 mm, wobei 1,5 mm der optimale Abstand ist.
Unterdruckanschluss	-4 bis -1 kPa
Kammerdruck	4-5 kPa
Leistung	7,5 kW/11,5 kW
Stromversorgung	380 V, 50/60 Hz
Luftvolumen / Prozessluftstrom	>600 m³/h
Filtrationseffizienz	99 % mit einer Präzision von 0,3 µm