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Wafer-Level Raster-Akustikmikroskop

Wafer-Level Raster-Akustikmikroskop

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Wafer-Level Raster-AkustikmikroskopWafer-Level Raster-Akustikmikroskop
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Wafer-Level Raster-Akustikmikroskop

2026-09-21

Wafer-Level Raster-Akustikmikroskop-Hochauflösende zerstörungsfreie Prüfung (ZfP) für fortschrittliche Halbleitergehäuse

Unser Wafer-Level-Scanning-Akustikmikroskop (SAM) wurde für höchste Präzision und Zuverlässigkeit entwickelt und ermöglicht zerstörungsfreie Suboberflächen-Bildgebung für die moderne Halbleiterfertigung, das Wafer-Level-Packaging (WLP) und MEMS-Bauelemente. Mithilfe hochfrequenter Ultraschallwellen erkennt dieses System präzise Mikrodefekte wie Delaminationen, Hohlräume, Mikrorisse und Bindungsanomalien – ohne die Probe zu beschädigen.

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Auto SAM Wafer 304-Wafer-InspektionAuto SAM Wafer 304-Wafer-Inspektion
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Auto SAM Wafer 304-Wafer-Inspektion

22.07.2024

Die vollautomatischen Akustikmikroskope des Auto SAM Wafer 304 ermöglichen die schnelle Erkennung von Hohlräumen, Fehlstellen, Blasen, Einschlüssen und Delaminationen und eignen sich ideal für die Waferinspektion, Bondprüfung und MEMS-Inspektion. Eine automatische Fehleranalyse-Software führt eine vollautomatische Auswertung des gesamten Wafers durch.

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