Wafer-Level Raster-Akustikmikroskop
Automatische SAM-Wafer-304-Wafer-Inspektion
EINFÜHRUNG
Der Auto SAM Wafer 304 ist eine Produktlinie, die speziell für die Inline-Produktionskontrolle entwickelt wurde. Es entspricht der Reinraumklasse 10 und wurde für die Inspektion von Wafern oder gebondeten Wafern (MEMS) entwickelt, um Hohlräume, Einschlüsse oder Delamination in gebondeten Schichten zu erkennen.
Der Auto SAM Wafer 304 ist ein vollautomatisches System mit robotergestützten Waferhandhabungs-, Inspektions- und Beurteilungsfunktionen. Es hat sich im kontinuierlichen Betrieb in zahlreichen Massenproduktionslinien bewährt.
MERKMALE
01
7. Januar 2019
Automatische Ultraschallabtastung
Entspricht der Klasse 1–10
Ultraschalluntersuchung mit mehreren Sonden
Hohe Auflösung und Empfindlichkeit
Anpassung an Standard-Kommunikationssoftware
ANWENDUNG
Der Auto SAM Wafer 304 wurde für die Inspektion von Wafern oder gebondeten Wafern (MEMS) entwickelt, um Hohlräume, Einschlüsse oder Delamination in gebondeten Schichten zu erkennen.
PARAMETER
| Anwendung | 4-Zoll-, 6-Zoll-, 8-Zoll-, 12-Zoll-Wafer oder gebondete Wafer (MEMS) |
| Dimension | 2400x2000x1300㎜ |
| Wandler | Vier Wandler, anpassbar |
| Auflösung | 1~4000 μm |
| Bandbreite | 1-500 MHz |
| Scaneinstellungen | Hochpräzises Scannen, schnelles Scannen |
| Plattform | Marmorplattform |
| X/Y-Achse | Linearmotor, Gantry-Doppelantrieb |
| Maximale Scangeschwindigkeit | 2000 mm/s |
| Maximale Beschleunigung | 2G/s |
| Frequenz | 1~300 MHz |
| Vorrichtung | Speziell für Wafer, anpassbar |
| Automatisches Be- und Entladen | Anpassbar |