Сканіруючы акустычны мікраскоп на ўзроўні пласцін
Аўтаматычная праверка пласцін SAM 304-пласцін
УВОДЗІНЫ
Auto SAM Wafer 304 — гэта лінейка прадуктаў, спецыяльна распрацаваная для кантролю вытворчасці на плыні. Яна адпавядае класу чыстых памяшканняў 10 і была прызначана для кантролю пласцін або злучаных пласцін (MEMS) для выяўлення паражнін, уключэнняў або расслаення ў злучаных пластах.
Auto SAM Wafer 304 — гэта цалкам аўтаматызаваная сістэма з рабатызаванымі магчымасцямі апрацоўкі пласцін, іх праверкі і ацэнкі. Яна мае правераны вопыт бесперапыннай працы на шматлікіх масавых вытворчых лініях.
АСАБЛІВАСЦІ
01
7 студзеня 2019 г.
Аўтаматычнае ультрагукавое сканаванне
Адпавядае вучням 1-10 класаў
Шматзондавае ультрагукавое сканіраванне
Высокае разрозненне і адчувальнасць
Адаптацыя да стандартнага камунікацыйнага праграмнага забеспячэння
ПРЫМЯНЕННЕ
Аўтаматычны SAM Wafer 304 быў распрацаваны для кантролю пласцін або звязаных пласцін (MEMS) з мэтай выяўлення паражнін, уключэнняў або распластоўвання ў звязаных пластах.
ПАРАМЕТРЫ
| Прыкладанне | 4-цалевыя, 6-цалевыя, 8-цалевыя, 12-цалевыя пласціны або звязаныя пласціны (MEMS) |
| Вымярэнне | 2400x2000x1300㎜ |
| Пераўтваральнікі | Чатыры пераўтваральнікі, якія можна наладзіць |
| Разрозненне | 1～4000 мкм |
| Прапускная здольнасць | 1–500 МГц |
| Налады сканавання | Высокадакладнае сканаванне, хуткае сканаванне |
| Платформа | Мармуровая платформа |
| Вось X/Y | Лінейны рухавік, падвойны прывад партальнай сістэмы |
| Максімальная хуткасць сканавання | 2000 мм/с |
| Максімальнае паскарэнне | 2 Г/с |
| Частата | 1~300 МГц |
| Прыстасаванне | Прысвечаны вафлям, наладжвальны |
| Аўтаматычная пагрузка і разгрузка | Наладжвальны |